电子工艺设备技术性能研究

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电子工艺设备技术性能研究
发布者：信息资讯 发表时间:2018-11-06
首要，用户需求明晰的是工艺技能方针要求绝对不等同于对工艺设备的技能功用方针要求，需求将工艺技能方针要求有用转化为对工艺设备的技能功用方针要求；其次，用户有必要明晰电子工艺设备的运用环境，在相同的工艺技能方针条件下，运用环境的不同，会导致对工艺设备的技能功用方针要求存在巨大不同。
用户提出完好和精确的电子工艺设备技能功用方针内容，是一项杂乱的作业，要求专业技能水平高、归纳常识才能强。现在，许多电子工艺设备用户在提出设备技能功用方针时，一般存在未将工艺技能及运用环境要求有用转化为工艺设备的技能功用要求，造成对工艺设备的技能功用方针内容要素不完好、要害技能要求不行科学合理、工艺设备的运用环境制约缺失等现象，造成购买的电子工艺设备不能彻底满意工艺技能要求或性价比不高的状况。因而，有必要对电子工艺设备技能功用方针的提出方法和完善内容进行研讨。

1 功用方针提出方法研讨
提出电子工艺设备技能功用方针是具有不同阶段的接连性作业，这种接连性作业组成一个完好进程，一般可以分为：预备、正式提出、专家评定及修正完善三个阶段。
1.1 提出功用方针的预备阶段
购买电子工艺设备是为了装备在工艺线上，完结电子产品制造中的特定工序工艺方针。
首要，剖析工艺道路。将电子产品制造的工艺道路计划用流程图方法表明出来，细心剖析清楚挑选的工艺道路计划，然后深入研讨拟购电子工艺设备的本工序可挑选的各种工艺方法，并针对不同工艺方法对工艺道路计划、本工序的上下工序影响进行细心剖析研讨。
第二，将工艺技能方针要求转化为电子工艺设备技能功用方针。经过对拟购电子工艺设备的本工序各种可挑选工艺方法的细心剖析研讨，在保证与工艺道路计划及上下工序有机联接根底上，对可挑选的工艺技能方法提出相应工艺技能方针要求，然后将工艺技能方针要求转化为对应的电子工艺设备技能功用方针要求，如：磁控溅射设备，工艺技能要求的膜与基片之间的附着力需求转化为磁控溅射设备的真空度方针以及对基片外表的清洁度要求。
第三，剖析运用环境要求。电子工艺设备运用环境不同，对设备的挑选自然存在巨大差异。关于纯科研环境运用的设备，由于存在进行不同条件下科研实验的要求，设备需求常常进行参数等调整，因而，广泛的适应性和耐用性是榜首要务；关于科研试制兼小批量出产环境运用的设备，由于既需求进行不同环境下的科研实验，一起也需求有小批量的出产才能，因而，杰出的可扩展性、耐用性、运转的稳定性和恰当的批出产才能平衡是榜首要务；关于大批量出产环境运用的设备，由于存在作业期间不能停机的要求，无毛病接连运转才能和杰出售后服务保证为榜首要务。用户应该将这些不同环境运用特征要求转化为对应的工艺设备技能功用方针及条件要求。如：磁控溅射设备，在满意工艺技能要求前提下，针对科研环境运用的要害要求是基片尺度的杰出可扩展性和不同基材的广泛适应性，至于无毛病接连运转才能则放在较次要位置；针对大批量出产环境运用的要害要求是无毛病接连运转才能，至于杰出可扩展性和广泛适应性则根本不做特别要求。
第四，进行市场调研。建立调研作业组，对可供挑选的电子工艺设备进行广泛的市场调研。调研调查制造厂商的商誉度、制造车间环境、规范履行系统、质量操控系统、出产规模、制造的电子工艺设备先进性和质量牢靠性、人机工程运用、制造商在同行业位置、制造的电子工艺设备在同类产品中的位置、规划制造团队状况、售后服务团队实力、已售电子工艺设备在用户中的名誉、对外协作链条等内容；到同类用户单位调研同类电子工艺设备的人机作用、运用的简练性、运转稳定性、对工艺技能要求的适应性及扩展性、无毛病作业时刻、运用功率、运转本钱、安全性、售后服务保证才能等内容；对新工艺技能，寻觅典型制造商及设备进行工艺实验，经过工艺实验，将此工艺技能要求有用转化为对电子工艺设备的技能功用及条件要求。
第五，对市场调研状况进行具体整理分类。用表格方法将电子工艺设备制造商的归纳实力、抢先领域及技能、规划开发及制造才能、质量规范系统完好性、技能支撑及售后服务保证才能等内容；各类型设备人机环境、先进性、运转稳定性和牢靠性、工艺技能的适应性和扩展性、耐用性、产能、运转本钱及安全性等内容别离列出，进行比较剖析并排名，然后撰写具体的调研报告。
1.2 正式提出功用方针阶段
依据运用环境，依照保证工序良品率，工艺简练性、一致性、重复性、批产性、功率、经济性等特征的工艺技能要求，结合电子工艺设备人机作用、工艺适应性和扩展性、运转牢靠性和稳定性、出资本钱及生命周期内归纳效益等统筹平衡，以具有最佳功率和经济效益为准则，选定最有利的工艺技能方法，以此断定电子工艺设备类型。然后将工艺技能要求有用转化为对电子工艺设备的具体技能功用方针和条件要求。工艺技能要求有用转化为电子工艺设备技能功用要求时，要以技能牢靠及先进性、工艺技能适用性、短期效益与长时刻效益的归纳平衡为准则，既要避免仅考虑技能不考虑经济效益的高配低用现象，又要避免仅考虑电子工艺设备直接出资本钱不考虑技能牢靠先进性和运用寿命周期内的归纳效益现象。
这儿要特别强调对电子工艺设备运用环境的注重，环境差异会造成对电子工艺设备要求的差异，如光刻工序，若光刻0.18 μm 线条，针对科研环境运用一般选用电子束曝光方法，而针对大批量出产环境运用必定是选用步进式曝光方法。这两种曝光方法的工艺设备无论是技能功用仍是直接出资本钱方面都存在巨大差异。
1.3 专家评定及修正完善阶段
电子工艺设备技能功用方针和条件要求是一个非常杂乱的归纳性技能文件，为了保证技能功用方针和条件要求的正确性和完好性，安排专家进行评定是一个不行短少的环节。
专家评定内容：文件中的工艺技能方法挑选是否正确？电子工艺设备类别挑选是否符合运用环境要求？电子工艺设备技能功用和条件要求与工艺技能的最佳匹配性、技能功用方针的完好性、技能条款的科学合理性、技能要素描绘的精确性、技能支撑和售后服务要求的合理性等。
专家评定不仅是发现文件中工艺挑选正确性和运用环境匹配性、提出的工艺设备技能功用方针缺项、匹配性、科学合理规范等问题，而且也是对该文件质量的有用查验。若用Q 表明文件的质量高低，则Q=（E -ΔE / E）×100%（E- 提交评定文件包括的技能要素，ΔE- 专家评定提出需求进行弥补完善修正的技能要素），当Q= 100%时，阐明文件编写质量完美，专家未提出需求弥补完善修正的要素；当Q＜100%时，阐明提交专家评定的文件需求弥补完善修正，Q 越小阐明需求弥补修正完善的要素越多，文件质量越差。一般Q≥98%判定为优秀，96%≤Q＜98%判定为杰出，94%≤Q＜96%判定为合格，Q＜94%判定为不合格。
专家评定完结后，构成专家组意见，职责团队按此进行细心细心整理修正完善，构成正式的电子工艺设备技能功用方针及条件要求技能文件。
2 功用方针的内容研讨
2.1 技能功用方针的组成
电子工艺设备技能功用方针一般包括下列8方面：用处、首要组成及功用要求、具体技能功用方针、运用水电气动力条件要求、设备场所条件要求、环境保护和节能减排要求、设备检验的具体项目和方针要求、设备调试及技能训练和售后服务要求。
2.2 电子工艺设备的用处
用户需明晰精确描绘电子工艺设备的用处。在相同工序，不同电子产品对电子工艺设备的具体要求存在差异，给电子工艺设备制造商明晰精确的设备用处信息，使他们能提供与用处彻底匹配的设备。如单面光刻机和双面光刻机均是用来制造线条的，但它们的用处存在巨大差异；又如涂胶显影机，针对具有压电特性资料的铌酸锂等基片，需求在设备中装备去电子云设备，一般硅资料就不需求。
2.3 设备首要组成及功用要求
电子工艺设备首要组成决议设备的完好性，首要功用决议设备的结构挑选、工艺适用性、经济性、牢靠性等方面。功用需求具体描绘，由于功用不能全用量化技能方针表明，技能方针是对部分要害功用好坏的具体量化。因而，用户对设备功用的描绘要完好、明晰、精确。断定工艺设备首要组成，是保证设备满意运用要求的根底，更是支撑选用高新、节能环保技能，保证工艺设备运用的可持续性、经济合理性、可扩展性、可保护性、有用运用寿命的必然要求。电子工艺设备组成一般包括：机械部分各单元、电器部分各单元、操控部分各单元等。
2.4 设备的具体技能功用方针
电子工艺设备具体技能功用方针是技能文件的中心，是保证设备与工艺技能要求彻底匹配、具有杰出经济运转性、牢靠性、保护修理简练便利性等的要害保证。工艺设备技能功用方针写得越具体、完好、精确，设备各种定位就越明晰精确，与工艺技能及运用环境要求的匹配性就愈加完美。具体技能功用方针应包括：设备的结构要求、操控方法、作业方法、有用作业尺度规模、精度、重复性、一致性、稳定性、牢靠性、工艺适用规模、与工艺有关的溶液和溶质、时刻节拍、无毛病作业时刻、质量规范和计量系统、毛病报警方法、安全性要求等内容。
2.5 运用水、电、气等动力条件要求
水、电、气等动力条件往往不受用户所控，国家规范和市政条件将其限制在必定规模。因而，尽量依照国家规范和市政规范，明晰提出电子工艺设备运用水、电、气等动力条件，避免进行重大改造添加更多出资本钱。
2.6 设备场所对设备的要求
关于用户来说，电子工艺设备的设备场所是现已断定好的，应明晰提出设备条件对设备的制约要求，避免对场所进行重大改造以满意设备出场和设备，添加出资本钱。一般需求明晰工艺设备的长×宽×高尺度、分量、抗微震等要求。
2.7 满意环境保护和节能减排的要求
依据国家环保、节能减排的法规和规范，对电子工艺设备提出相应的要求，保证设备归于环保节能型，满意国家强制规范要求。
2.8 检验的具体内容及方针要求
电子工艺设备检验一般分为预检验和终检验两阶段。
预检验在设备制造工厂进行，一般工艺设备由制造商自行安排，杂乱设备由制造商和用户一起进行。预检验的意图是使电子工艺设备发货前，各种状况抵达最佳以满意合同规则的技能功用要求，一起对预检验中发现的问题进行及时便利处理，为终究检验发明杰出条件。终究检验是在运用场所设备完结后，移送用户前，依照规则内容所进行的各种测验、实验及运转，以保证移送用户时工艺设备的完好性和杰出的运转性。设备检验是特别重要的阶段，因而，依据预检验和终究检验不同意图，在技能功用方针文件中有必要具体列明两阶段检验的具体内容和方针、检验方法、核算方法等，抵达检验方针的具体标志，未抵达方针的处理方法。最好用表格方法列明检验内容，这样显得更简练、明晰、精确。
预检验以设备本身的结构和功用方针查核为主，首要内容是工艺设备的结构强度检测、功用完善性、首要方针和精度、重复性、一致性、运转状况、工艺适应性、工艺精度等方面。技能文件中有必要规则制造商自行安排预检验时，需求制造可追溯的有用记载文件。
终检验是设备设备调试和人员训练作业完结后，正式移送用户时进行的检验作业，检验内容需求全面、具体，预检验过的内容也要重新检验一遍。终检验需求有电子工艺设备供方代表和用户代表一起签订具有法律效力的具体记载和协议。
关于未抵达检验规范的项目处理方法、正式检验时刻核算日、设备保修核算起止时刻等内容有必要明晰。设备机械结构、电器、操控原理图、操作手册、修理手册等均应作为检验内容。
2.9 设备调试和技能训练及售后服务要求
设备调试和技能训练是电子工艺设备在运用现场的中心内容，是保证设备正常、杰出运转的要害作业。用户有必要明晰精确提出设备调试和技能训练的具体要求，一般包括：供方到用户现场进行设备调试和技能训练的工程师类别及等级、工程师人数、作业天数、完结的作业内容、开端对用户技能人员（操作人员、修理保护人员等各多少名）进行训练的时刻等方面。训练的具体内容应含设备的构成、原理、功用、运用工艺规模、特别注意事项、根本操作及高档操作、工艺制造、日常运转管理、日常保护、毛病诊断及扫除，对外围条件的保证要求等。
售后服务是电子工艺设备的重要条件，要求设备百分之百不出毛病是不科学的，应该提出设备的无毛病作业时刻，要害是用户提出工艺设备呈现毛病后，设备供应方需在短时刻内消除毛病，不影响设备完结科研出产任务。用户需求提出设备移送后，设备制造商对设备呈现毛病后的反应速度、抵达现场扫除毛病的时刻、触及零部件替换的时刻要求、在规则时刻内未完结毛病扫除的处分方法、针对杂乱电子工艺设备每年的日常巡检次数和内容及作业时刻等内容。
3 结束语
总归，提出电子工艺设备技能功用方针和条件是一个非常杂乱、具有高难度的作业，用户应该安排规划、运用、修理等技能人员组成团队负责对工艺技能和电子工艺设备进行研讨，尽量提出科学完善、与工艺技能和运用环境要求彻底匹配的技能功用方针系统。
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